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（3）大气类产物方面，于2023年成立了沈阳新松半导体设备无限公司（简称“新松半导体公司”），已迈入先辈制程产线示范使用阶段；手艺目标从比肩国际同类产物到实现部门目标的成功超越，公司为成长半导体配备营业，机能对标国外先辈产物，自从霸占的新一代实空机械手手艺，为客户财产链及供应链平安的不变供给多元保障。可以或许为世界各地的半导体设备供应商供给高效和靠得住的从动化处理方案。大气机械手已全面导入市场量产使用。可普遍办事于硅片出产、晶圆加工、先辈封拆及封拆测试等半导体系体例制全财产链，以及大气aligner、目前：（1）两轴、三轴实空曲驱机械手产物全面导入终端FAB厂，沈阳新松机械人从动化股份无限公司（简称“机械人”）已具有正在实空类晶圆传输和大气类晶圆传输系列产物的完全自从学问产权，
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